抗蚀剂相关论文
由于三维功能微纳结构可以实现平面微纳结构所无法得到的卓越光学性能,所以吸引了大量研究者对其进行兴趣。目前,基于三维光功能微......
介绍了国内外一些超精密技术应用在微机械加工中的方法。
Introduced a number of domestic and foreign ultra-precision techno......
软Ｘ射线显微术适合于自然状态下生物样品的高分辨率显微成像。软Ｘ射线接触显微术是Ｘ射线显微成像方法中最简单也是迄今唯一达到接近理......
南朝鲜SKC有限公司的光学介质厂位于汉城以南50英里处。该厂于1986年开始制造小型光盘,现正为欧洲和日本的许多公司压制。该厂同......
对于硅片来说,当在其上制作出集成电路芯片以前,一面要在硅片上复盖各种物质,一面将根据需要再度分步清除。作为复盖在硅片上的物......
低压等离子体在半导体器件制造中的应用是一个十分活跃的研究课题.从七十年代初将等离子体技术用于去除光致抗蚀剂以后,不久就相继......
日本、英国和美国公司正竞相发展一种称为同步加速器的强X射线源,此源对集成电路制造商发展下一代计算机芯片必不可少。但康乃尔......
描述了用高功率脉冲激光打靶产生的等离子体作为软Ｘ射线源而进行的接近式软Ｘ射线光刻研究。采用负性辐射线光刻胶聚氯甲基苯乙烯（ＰＣＭＳ），得到......
玻璃艺术蚀刻是现代玻璃装饰过程中的一种重要工艺，是对玻璃表面进行处理的一种技术，玻璃表面经过蚀刻处理之后，既具有实用性又具有观......
本论文主要工作是利用MonteCarlo方法模拟了在电子束光刻中电子穿越掩模的过程和电子在抗蚀剂和衬底中的散射过程。在电子穿越掩模......
4 在化学镀锡上的LDI 这是指经制备的在制板铜箔上涂覆上一层厚度为0.8/μm的锡箔,接着通过UV激光蚀去不需要的锡镀(涂)层及其底......
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
本文对化学增幅抗蚀剂体系的组成及化学增幅作用做了说明.介绍了化学增幅作用中的关键组分-光产酸源和酸增殖剂的发展概况.并对重......
讨论了衍射效应在微米 /纳米X射线光刻中对分辨率的影响和抗蚀剂的预烘温度与其衬度的关系。分析发现增加抗蚀剂的衬度能有效地提......
通过凝胶率对曝光能量的变化,研究显影液、光敏剂用量等对超支化聚合物光致抗蚀剂感光性能的影响.结果表明:四甲基氢氧化胺水溶液......
