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故障诊断与安全监测对微加速度传感器提出了迫切需求,然而,目前在市面上主要以高精度、低量程产品为主,产品量程和部分性能不能有......
通过对硅进行微机械加工、室温操作和批量处理,波音公司Anaheim电光中心在红外成像技术上取得了突破,获得了U3000型非致冷焦平面......
微机械加工(Micro-Electro Mechanical System,MEMS)工艺中常需要应用到低应力氮化硅作为结构层或钝化层材料,以降低圆片的翘曲。......
介绍了国内外一些超精密技术应用在微机械加工中的方法。
Introduced a number of domestic and foreign ultra-precision techno......
本论文从理论出发，系统地阐述了阳极键合的原理、表面清洗和表面处理工艺等基础理论。 在对键合机理的研究基础上，用氧等离子体和亲......
随着微机械加工技术和MEMS技术的快速发展,微型化成为传感器发展的重要方向。采用与标准IC工艺相兼容技术制作而成的微热板式微气......
该论文对微机电系统(MEMS)的概念、特点,微机械加工技术的种类、条件、步骤进行了介绍,分析了国内外的测量测试方法,对测量表面形......
作者首先研究了硅各向异性腐蚀工艺和切角补偿方法、四电极电化学掺杂选择腐蚀技术、高温硅直接键合工艺、硅常温静电键合工艺.获......
微机械加速度传感器是一种重要的惯性器件，在航空航天、汽车工业、石油探测和地震预报等领域中有着广泛的应用。电容式加速度传感器......
柔性多维力传感器阵列可以广泛应用于机器人、航空航天、科研以及其它特殊应用领域.如将其安装在机器人的操作手上,可以感知被抓取......
智能传感器是涉及多学科的综合高新技术,已在军事、航空航天、科研、工业等领域广泛应用。介绍智能传感器的概念、原理及其分类,并......
在(100)硅上制作边沿晶向的长方形掩模,用KOH各向异性腐蚀液腐蚀可制得竖直微镜,这种微镜存在凸角削角问题.研究了边沿晶向掩模的......
