电子束曝光相关论文
电子束曝光技术是制备纳米精细结构的关键技术,在纳米科学研究、微纳原型器件制备、生物医学等领域具有广泛的应用。本论文以电子......
有机高分子材料具有生物亲和性、柔性、易于制备等特点,因此科学家们对此类材料的纳米结构进行了广泛地研究,有机纳米光子结构的机......
由于三维功能微纳结构可以实现平面微纳结构所无法得到的卓越光学性能,所以吸引了大量研究者对其进行兴趣。目前,基于三维光功能微......
偏振探测是主要面向光波偏振特征的探测技术研究。相对于传统的强度探测,偏振探测着重光波的偏振特性,细致地呈现了被探测物的信息......
本文主要研究了外界干扰对磷化铟多孔层的影响,利用电子束曝光技术辅助电化学刻蚀技术和激光干涉技术辅助电化学刻蚀技术,分别制备......
纳米加工技术是人类了解微观世界的工具,但加工能力往往受设备所限。碳纳米管作为一种新型纳米材料,具有很多独特的物理性质。本文......
纳米永磁材料,因其磁性能卓越,力学性能稳定,热稳定性高,耐腐蚀性强,近年来成为永磁材料领域炽手可热的研究热点.纳米双相耦合永磁......
期刊
太阳能是一种储量巨大的清洁可再生的能源,但是利用效率却非常低,主要来源于材料对于光的吸收率造成的限制。光合作用是自然界中最......
针对电子束曝光领域影响曝光分辨率的一个重要原因—电子在固体中的散射，从电子与固体物质的相互作用机理入手进行分析，分析相互作用......
学位
二氧化钛（TiO2）作为一种重要的宽带隙半导体材料，已经被广泛应用在光催化、污染物降解处理、太阳能电池等众多领域。TiO2纳米材料因其......
自1959年集成电路发明以来，它已经对人类的生产和生活方式的很多方面产生了极其重大的影响。集成电路正以线宽每年缩小30％、集成规模......
I线光致抗蚀剂可以同时实用电子束和光学系统曝光 ,在 50kV加速电压下 ,其曝光剂量为 50～ 1 0 0 μC/cm2 ,曝光后在 0 7%NaOH溶液......
建立一个更为严格地描述电子散射过程的物理模型,运用Monte Carlo方法模拟高斯分布电子束在靶体PMMA-衬底中的散射过程,研究不同曝......
期刊
采用不同的方法裁剪高定向热解石墨(HOPG),制备纳米尺寸的石墨条.首先,发现用聚焦离子束(镓离子)刻蚀高定向热解石墨,可以得到边缘......
提出了在0.1 keV～30 keV能量范围内进行电子束曝光Monte Carlo模拟的分段散射模型优化方案.在该方案中,对所有的弹性散射均采用精确......
针对X射线自支撑透射光栅在多能点单色成像光栅谱仪中的应用,采用电子束和光学匹配曝光、微电镀和高密度等离子体刻蚀技术,成功制......
亚微米尺寸金属电极在高电子迁移率晶体管(HEMT)等半导体电子学器件中有重要应用,其制作是器件制作中的关键工艺,对器件性能有着重......
光子晶体这类新型材料的出现使人们操纵和控制光子的梦想成为可能,全光集成也将会因光子晶体的应用有突破性进展.光子晶体集成能否......
建立一个描述低能电子在多元多层介质中散射的物理模型 ,运用MonteCarlo方法模拟低能电子在靶体胶衬底中的复杂散射过程 ,在此基础......
提出一种改进的自旋转移矩器件的制备工艺:在电子束曝光形成纳米级图形之后,依次采用离子束刻蚀、带胶绝缘层淀积再正胶剥离的图形......
采用不同的方法裁剪高定向热解石墨(HOPG),制备纳米尺寸的石墨条.首先,发现用聚焦离子束(镓离子)刻蚀高定向热解石墨,可以得到边缘......
