硅基底相关论文
公开号 CN1188817A 申请人 MEMC电子材料有限公司 地址 美国密苏里州 一种用于清洗硅体和可控地降低覆盖在硅基底上的二氧化硅厚度的......
研究了在硅基底上采用等离子增强化学汽相淀积(PECVD)氮氧化硅(SiON)所形成的包括通道波导、条波导、倒脊型波导等多种结构的特性。通过对测试结......
研究了化学气相条件下金刚石在非均匀研磨硅基底表面及镜面基底和均匀研磨基底边缘及角域处的成核行为。发现CVD金刚石成核不仅依赖于......
利用脉冲多弧离子镀技术在硅基底上沉积出非晶的类金刚石薄膜。薄膜的折射率为 2 8左右 ;沉积速率与主回路电压以及脉冲频率有关 ......
随着对通信带宽要求的提高,急需发展一种全光网络.其中一个重要的部分就是目前开关的替代品,它必须能够将光信号转换成电信号,然后再......
利用电子束热蒸发技术在两种不同粗糙度的K9玻璃和一批单晶硅基底上沉积了单层二氧化钛(TiO_2)薄膜,并对这些样片进行了氧离子后处......
采用脉冲激光沉积法(PLD)在不同激光通量下烧蚀CNx靶,在单晶硅基底上沉积CNx薄膜。利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线能谱仪(EDS)、X......
提出了双激光沉积掺杂薄膜技术,利用准分子纳秒激光和飞秒激光分别烧蚀石墨和锗靶材,保持准分子纳秒激光的参数不变,而将飞秒激光......
空中通信节点技术是现代信息战、多军种联合作战中重要的支撑技术之一。一个国家在该技术领域是否占有先进地位,直接影响着这个国......
磁电复合材料具有铁电性、铁磁性,且会产生磁电耦合效应,这些独特的性能使其在换能器、传感器及存储器等领域存在巨大的应用前景,其中......
通过直流溅射法,在硅基底上溅射铜粒子,并以铜粒子为催化剂,氢气为还原气,乙炔为碳源,在管式炉中制备了纳米碳纤维。利用扫描电子显微镜......
本文采用磁控溅射方法在硅基底上沉积一层金属钛膜,用于取代传统阳极氧化法制备TiO2纳米管阵列所用的金属钛片。分别在乙二醇和丙三......
采用微波加热法,在单晶硅基底上生长了铜纳米粒子,并以铜纳米粒子为催化剂,乙炔为碳源,氢气为保护气,在管式炉中制备了碳纤维.利用......

