直流溅射相关论文
采用直流磁控溅射法制备了ZnO薄膜, 研究了沉积过程中变换氧分压对薄膜光电性能的影响。采用XRD、紫外可见光分光光度计及AFM等方......
本课题介绍了一种不常见的直流溅射法制备纳米薄膜材料的新型方法，即对于不导电的有机小分子物质，通过导电的方式制备成纳米薄膜，即材......
室温下,采用脉冲直流反应磁控溅射技术在玻璃衬底上制备了氧化钒薄膜。研究了脉冲调制功率占空比对薄膜物相、表面形貌、组分和热......
当今世界上主要使用的能源是以煤炭、石油、天然气为主的化石能源,但化石能源存在的污染大、破坏生态环境等问题,使得开发绿色无污......
随着光电子技术和薄膜技术的共同发展,多晶硅锗薄膜日益受到研究者的重视,在光电集成、微电子以及薄膜太阳能电池等领域都渗透着硅......
第二代钇系高温超导带材具有交流损耗低、性价比高以及在磁场下载流能力强等优点,在工业上具有广阔的应用前景,因此成为各国关注的......
探测器及其制造技术广泛地应用于军事、科技、民用等研究领域.随着越来越高的需求和半导体材料制备技术的发展,机械性能好、化学稳......
采用直流溅射并结合热处理工艺制备氧化镍薄膜,利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)、能谱仪(EDX)考察退火温度对薄膜结构、形貌......
本文研制了一种较高档的磁控溅射镀膜设备,用于微电子器件规模化生产过程中的基片表面镀膜。该设备采用双真空室结构,使溅射室始终......
通过直流溅射法，在硅基底上溅射铜粒子，并以铜粒子为催化剂，氢气为还原气，乙炔为碳源，在管式炉中制备了纳米碳纤维。利用扫描电子显微镜......
采用倒筒式直流溅射结合辐射加热方法对无源微波器件用的Y1 Ba2 Cu3O7-x(YBCO)双面薄膜生长进行了研究 ,实验结果表明 :直流非磁控......
