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高阻硅基底相关论文
MEMS中高阻硅基底微小结构制造误差的反演规律研究
微小结构加工技术制造的微带贴片天线,具有剖面低、体积小、重量轻、高度集成、并且能与载体共形。其作为对弹药的智能化改造的通......
学位
微小结构
MEMS
高阻硅
阵列式微带天线
反演规律
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