溅射离子泵相关论文
溅射离子泵又被称为潘宁泵,主要由钢制阳极筒、钛合金阴极板、铁氧体永磁铁、过载保护直流电源、不锈钢泵体等部分组成。具有工作......
溅射离子泵又称潘宁泵,是一种广泛用于超高真空系统中的清洁真空泵。溅射离子泵阳极筒空间中的电子在电磁场的作用下与气体分子碰......
本文详细介绍了上海光源常用溅射离子泵性能测试的方法和原理,并对极限真空度,有效抽速,洁净度进行了测试.结果表明,溅射离子泵的......
介绍四极质谱计在高能加速器中的一般用途和用国产ＺＰ—４００１型分压强计对高真空系统残余气体分析真空检漏，以及观察溅射离子泵的一些工作特......
把真空技术应用到粒子加速器中,必须满足加速器的一些要求,适应加速器的环境条件。这就给真空技术工作者提出了一些新的需要解决......
自从1950年Bayard-Alpert电离计发明以来,真空技术逐步向超高真空领域推进。特别是现代科学技术──原子能、电子计算机和空间技术......
本文详细地叙述了预真空残气质谱分析的设备和方法,并且提供了一系列目前常用的预真空获得方法的残气质谱图。通过对这些残气质谱......
用四极质谱计对一台全金属超高真空系统进行了残气分析.发现钛钽二极式溅射离子泵能有效地抽除惰性气体,但泵停止工作后会大量解吸......
描述了上海天文台在2008年为提高被动型氢原子钟真空系统的可靠性所研制的由非蒸散型吸气剂泵和小离子泵组成的复合泵的实验过程,......
本文介绍溅射离子真空泵控制电源自动保护功级的几种常规方法 ,重点介绍电源的可能出现的一种罕见故障及其解决的方法
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针对溅射离子泵高压电源应具有的负阻特性,本文详细介绍了负阻性DC/DC开关电源控制电路的组成和工作原理。在此基础上,成功研制了......
简单介绍了钛泵的工作原理。溅射离子泵在高电压和高磁场的作用下产生潘宁放电,吸附容器内气体分子达到真空的目的。由于设备老化......
