涡轮分子泵相关论文
为了实现准确可靠的涡轮分子泵故障诊断,提出了一种基于多样性特征和多源信息的分子泵故障诊断方法。在分子泵实验台上采集到分子......
涡轮分子泵广泛应用于半导体与薄膜工业、核物理及表面科学等领域，是获得超高真空环境的核心机械设备。本文从一体成型的涡轮转子的......
涡轮分子泵广泛应用于清洁高真空的获得。本文采用实验粒子蒙特卡洛算法，使用COMSOL对二维模型进行计算，更新了单级叶列抽气性能参数......
自从1950年Bayard-Alpert电离计发明以来,真空技术逐步向超高真空领域推进。特别是现代科学技术──原子能、电子计算机和空间技术......
<正> 显像管生产中,蒸铝以及管子封离前排空这两道工序都需要使用真空泵。当采用涡轮分子泵代替传统工艺中使用的油扩散泵后,可改......
一个为强流短脉冲电子枪烘烤排气和阴极分解激活工艺专用的超高真空排气台已完成调试工作。该排气台由电子枪排气用的超高真空机......
涡轮分子泵是获取高真空的一种重要设备,被广泛应用于高真空场合,涡轮转子是涡轮分子泵中最核心的零件。整体式涡轮转子为多层叶片......
涡轮分子泵是一种动量传输式真空泵，它靠高速旋转的涡轮转子和定子相间配置来工作，其定子和转子叶齿倾角方向相反，涡轮分子泵的转速，每......
对几种参数化设计方法进行了比较,根据涡轮分子泵的结构特点,开发了简便实用的涡轮分子泵参数化设计软件。该软件具有智能设计、自......
针对涡轮分子泵的入口管道束流效应和涡轮端盖反射效应对传输几率的不利影响、以及大口径涡轮分子泵与小型仪器相连接的难题,本文......
在Pro/E环境中针对涡轮分子泵的涡轮叶片(动片和静片)编写了专用的3D模型设计程序,使涡轮分子泵繁琐的叶片建模变得快速、简洁而准......
