油扩散泵相关论文
真空系统是真空镀膜设备的主要组成部分,其主泵的选择对真空性能影响很大,真空镀膜设备的发展要求真空性能清洁无油,动态抽速大.传......
为了造成真空的环境来为生产服務,人们曾做了大量的試驗研究工作,制成获得低真空、高真空以及超高真空的各种工具——抽气机、真......
著名真空科学技术专家与物理学家、中国科学院学部委员金建中先生,19 9 0 年10月12日已逝世一周年.金建中先生的逝世,使我们国家失......
X射线光电子能谱仪是近十几年发展起来的一种表面分析仪器,它主要是利用MgKα或Alka的特征X射线来激发样品,测量被激发出来的电子......
自从1950年Bayard-Alpert电离计发明以来,真空技术逐步向超高真空领域推进。特别是现代科学技术──原子能、电子计算机和空间技术......
最近半世纪以来,真空的应用十分广泛。以近代世界三大成就——原子能、电子学和火箭技术为例,哪一件都不能与真空无关,因此有关获......
小型制冷机低温泵（以下简称低温泵）是七十年代末发展起来的一种新型抽气设备，目前国外已大量生产并在半导体微电子技术、新型材料科学......
<正> 显像管生产中,蒸铝以及管子封离前排空这两道工序都需要使用真空泵。当采用涡轮分子泵代替传统工艺中使用的油扩散泵后,可改......
油扩散泵是目前用来获得高真空的工具之一,其应用领域较为广泛。它具有成本低,结构简单、制造容易、无机械传动、无振动、无噪声、......
油扩散泵是一种广泛应用于电子、冶金、化学、原子能等工业部门和空间技术等科学研究领域中的高真空获得设备,因其结构简单,没有机......
油扩散泵与其他种类真空泵相比,结构更为简单,无运动部件,没有振动与噪声,使用方便,寿命长,成本低,因此被广泛应用于各科学研究和......
基于在高真空除气炉研制过程中取得的成功经验,对利用油扩散泵系统获得准无油真空环境以及设计中应注意的问题进行了研究探讨。
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通过对油扩散泵抽气速率、气体分子平均热运动速度和分子流态下气体流导的分析,指出油扩散泵对不同气体的抽气速率具有选择性,给出......
详细地介绍了前苏联1953年由国家制订的高真空油扩散泵工业产品的统一系列。该系列包括五种规格,在入口压力为1×10-4~1×10-5Torr......
