【摘 要】
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本文叙述在钛溅射离子泵超高真空系统上利用小型180°磁质谱计(Zh-3型)所做的剩余气体分析的实验。系统采用全金属密封、带冷阱的机械泵预抽,通过有机溶剂的清洗和氮气辉光放
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本文叙述在钛溅射离子泵超高真空系统上利用小型180°磁质谱计(Zh-3型)所做的剩余气体分析的实验。系统采用全金属密封、带冷阱的机械泵预抽,通过有机溶剂的清洗和氮气辉光放电以及中温烘烤等处理获得超高真空。对系统的各压强下的气体成分以及B-A规的影响作了分析。根据实验结果,讨论了剩余气体成分对获得超高真空等影响。
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