外差干涉相关论文
随着电子产品的高集成度和高性能化的发展,部件表面的光滑程度要求越来越高,计算机硬盘和大规模集成电路要求盘片或晶片表面具有纳......
超精密位移测量系统是光刻机不可或缺的关键分系统之一，而基于激光外差干涉技术的超精密位移测量系统同时具备亚纳米级分辨率、纳米......
在金属冶炼过程中,由于工业废气的排放不达标,导致中毒事件屡屡发生,其中硫化氢和一氧化碳等工业废气的存在对人体健康和生命安全......
文章介绍了应用激光干涉法于速度测量的实验原理及操作、外差干涉改进的相关原理.通过搭建迈克尔逊干涉仪,并将一面反射镜连接被测......
针对激光频率长期漂移锁定问题,实现了一套以光学频率梳为参考源的数字稳频系统。该系统将被控激光与光学频率梳外差干涉,获取表征......
基于光学折射率是材料的一个重要的物理参数, 提出了一种在泰曼格林干涉系统基础上的光学外差干涉折射率测量方法及系统。测量系统......
光学外差干涉系统信号频率高，传统的过采样解调方法的成本高且数据量大，不利于实时解调监测。研究了欠采样数字正交解调方法，以降低外......
双频激光外差干涉法与扫描探针相结合的超精表面缺陷检测系统具有很高的分辨率。但系统光源和光学器件的各种误差因素会产生非线性......
随着工业制造、航空航天和计量测量技术的发展,大型高端装备的精密生产制造成为现代工业发展的趋势,高精度、大尺寸测量技术成为助......
针对低相干外差干涉间隙测量技术应用于发动机、燃气轮机等设备内部高温、高压、强振等恶劣环境时,面临信号弱、信噪比差导致测量......
随着现代工程技术向着精密化、智能化、高速化等方面的飞速发展,MEMS器件、机械零件、设备和工程结构的振动问题日益突出。模态分......
光干涉检测技术具有高精度和非接触式测量的优点,在许多重大科技领域起着不可替代的作用。随着科学技术的发展,由多种技术相结合所......
光纤表面等离子体共振传感器是光纤传感技术与表面等离子体共振（Surface Plasmon Resonance,SPR）技术的联用,其既有SPR技术免标记、......
为了补偿激光外差干涉纳米测量中的非线性误差,提出了一种减小非线性误差的一次谐波方法。基于全反射理论分析了镀膜实体角锥棱镜......
利用半导体激光器 (LD)、光隔离器、光纤定向耦合器、自聚焦透镜等组成双路光纤斐索型干涉仪。采用三角波电流调制 ,上、下边沿拍......
随着超精密加工等高新技术工业领域的进一步发展,其对有关设备的运行和定位精度提出了更高的要求,因此对微定位器的研究得到了越来......
散斑干涉测量技术以其高灵敏性、实时、全场、无接触等优点，并结合相移技术、计算机、CCD和各种算法的发展，已被逐渐广泛地应用到微......
学位
半导体激光干涉技术是以半导体激光器为光源，在传统干涉结构的基础上不断创新，综合应用现代光电子学、信号处理、精密机械等多个领域......
下一代微电子制造、精密计量以及物理前沿探索等领域将要求提供亚纳米甚至皮米量级超精密位移测量技术设备作为基础支撑和关键手段......
随着纳米级超精密领域,如引力波探测,的迅猛发展,外差干涉仪的研究越来越受到国内外研究学者的重视,其测量精度由纳米量级向皮米量......
提出了一种基于高频相移电子电路驱动的压电陶瓷执行器和外差式迈克尔逊激光干涉仪的纳米位置控制方法,该方法结合双轴机械传输导......
在线检测硬盘磁头飞行高度(FH)是高密度磁存储技术商品化的重要环节。提出了一种对称共路双频外差干涉测量硬盘磁头飞行高度的方法......
提出了一种基于高频相移电子电路驱动的压电陶瓷执行器和外差式迈克尔逊激光干涉仪的纳米位置控制方法,该方法结合双轴机械传输导......
提出了一种以低频差横向塞曼双频激光器作光源的外差干涉共焦显微测量系统 ,该系统通过共焦显微的光强测量进行粗定位 ,其轴向台阶......
台阶高度是微电子产品的一个重要性能参数.基于双频激光干涉共焦显微系统(DICM)提出了一种微电子掩膜板台阶高度测量的扫描方法,在......
Zeeman双折射双频激光器能够输出3~40 MHz频差的双频激光,可用作高测速双频激光干涉仪的光源。针对这种激光器的特点,以频差约7 MH......
