双频激光干涉仪相关论文
超精密位移测量系统是光刻机不可或缺的关键分系统之一，而基于激光外差干涉技术的超精密位移测量系统同时具备亚纳米级分辨率、纳米......
随着工业制造、航空航天和基础建设等领域的技术进步,三维精密测量技术与仪器不断发展与创新。从传统的三坐标测量机、经纬仪等到......
本文着重介绍了采用量块、双频激光干涉仪和多面棱体、光电自准直仪对三坐标测量机及配套光学转台在校准过程中因各项标准设备引入......
There is an increasing demand on the measurable velocity of laser interferometer in manufacturing technologies. The maxi......
线位移传感器作为尺寸测量仪器广泛应用于航空航天、军工科研、民生基建等领域,具有响应速度快、量程范围广、测量精度高等特点。......
提出并论证了混合型声光调制器衍射光的衍射级次混叠特性， 它使衍射光强中存在着驱动频率的谐波项， 此外入射光束的漂移将引起衍射光......
干涉测量的面形重复精度一定程度上依赖于测量框架结构的稳定性,从测量框架高稳定性的使用要求出发,对测量框架的机械结构进行了设......
针对以往文献提出的探测非线性误差方案比较复杂,通常不容易实行的缺点,设计了一套简单有效的系统,用以区分由光源偏振态非理想和......
双频激光干涉测量技术以其抗干扰性强、精度高、可溯源等优点,已成为静态、准静态精密测量的经典工具和主要手段。与此对应地,NIM......
双频激光干涉测量技术以其非接触、抗干扰性强、精度高、可溯源等优点，被广泛应用于量规检定、车床校准以及纳米传感器标定等静态几......
水准尺是一种被广泛应用于大地测量和工程测量之中的一类长度计量器具，它的分划精度直按影响着测量结果的准确性和可靠性。然而，水准......
数字水准仪自1990年诞生以来,凭借其精度高、速度快、操作简单等优点很快得到了广大用户的认可。并逐步应用于高精度水准测量、地......
在日常的工作中,对于大尺寸游标类量具的检定存在不少困难.针对这一难题,本文创造性地提出了利用双频激光干涉仪进行大尺寸高度卡......
1 引言 三等标准金属线纹尺（以下简称三等线纹尺）的示值误差，可用激光干涉仪进行测量，也可用二等线纹尺作为标准尺在测长机或其他检......
在激光干涉仪的微纳米加工过程中,着重分析了随着外界环境因素诸如大气压强、温度、相对湿度的变化而引起的测量结果的改变,进而分......
本文介绍了双频激光干涉仪的工作原理及齿条和丝杠传动车床的基本构成，利用激光干涉仪对车床定位精度的检测，分析车床的运动精度误差......
利用双频激光测长原理,在建立50 m超长气浮导轨的基础上,提出了由地基、导轨、测距主标准器及工装配套等模块组成的一维大尺寸精密......
Zeeman双折射双频激光器能够输出3~40 MHz频差的双频激光,可用作高测速双频激光干涉仪的光源。针对这种激光器的特点,以频差约7 MH......
