气浮导轨相关论文
静压气浮导轨采用气体润滑,具有无摩擦、热变形小、寿命长等优点,且气膜的误差均化作用显著提高了其运动精度,满足三坐标测量机高......
近年来,光学自由曲面在很多领域得到广泛的应用,但由于其拥有着复杂的非回转对称结构,加工难度大。随着超精密加工技术的发展,基于......
三坐标测量机作为一种大型精密测量仪器,已广泛应用于现代制造业。随着生产的发展,对三坐标测量机的测量效率及精度要求更高,而随......
尝试在大型衍射光栅刻划机中使用气浮导轨承载金刚石刻划刀具系统运行。气浮导轨同时承担刀具系统的承重与导向任务,由于使用气体......
现代制造业的发展对三坐标测量机提出了更高的测量速度和精度要求。测量机测量速度的提高引起测量加速度与结构惯性力增大,振动加......
由于气浮导轨具有高精度、低阻尼、低摩擦、无污染等优点；同时，直线电机具有无接触、速度快、精度高、噪声低等特点，在运动系统中能够......
随着科学技术的迅猛发展,具有复杂微结构的光学表面越来越广泛地被应用到航天、通讯、医学和军事等一系列科学领域中。这类光学表......
光刻机是集成电路产业的基础设备,光刻机的线宽决定着集成电路的特征尺寸。光刻机研制水平的提高能够带动整个集成电路产业界的技......
静压气浮导轨具有摩擦小、发热量小、寿命长、精密度高、无污染、无辐射等优点,直线电机驱动具有无接触、速度快、精度高、噪声低......
坐标测量机是现代工业检测、质量控制和制造技术中不可缺少的重要测量设备，其设计与制造一直以高效率高精度为发展方向，其设计技术往......
通过步进电机驱动、同步齿形带的传递,气浮导轨的设计、主轴夹紧机构的改造,提高了仪表车床的刚性,保证了产品的加工精度.通过PLC......
提出了一种超声波微驱动摩擦改性的思想。通过激励超声波马达振子的两个对称的夹心式换能器前端头作旋转方向相反的椭网运动，使摩擦......
提出二维精密微动工作台的结构及控制方案。以直线电机作为驱动,由气浮导轨带动工作台实现水平x、y两个方向微位移运动,同时利用光......
利用双频激光测长原理,在建立50 m超长气浮导轨的基础上,提出了由地基、导轨、测距主标准器及工装配套等模块组成的一维大尺寸精密......
