外差干涉仪相关论文
描述了基于外差干涉仪原理的用于精密空间光学的准直方法,分析了该方法进行光学系统准直的系统误差;结果表明,只要较好地控制倾斜......
提出并论证了混合型声光调制器衍射光的衍射级次混叠特性， 它使衍射光强中存在着驱动频率的谐波项， 此外入射光束的漂移将引起衍射光......
提出了一种采用双纵模稳频激光器的新型绝对距离测量外差干涉仪。该干涉仪探测两个波长各自的外差信号， 通过测量两信号的相位差， 直......
外差激光干涉仪能够通过光波细分达到亚纳米分辨率,因而在科学研究和精密机械制造中得到了广泛应用。然而,由于光学系统中不可避免......
通过对外差干涉信号同时进行相位检测和锁相倍频计数，可得到存在一定冗余度的一组测量结果，经过一定的逻辑混合；可实观测量分辨率优于......
随着科技的发展,人们对加工和测量的精度要求越来越高,亚微米到纳米精度的测量已经成为目前工业发展和科学发展中迫切需要解决的问......
激光外差干涉的振动测量具有很高的精度，在纳米级振动测量中有着独特的优势。通过研究发现，由于激光光源的偏振态不理想或不稳定以及......
分析了共光路外差干涉仪光路中几个组成元件的调整方法,包括入射光位置的调整、渥拉斯顿棱镜位置的调整、被测表面位置的调整等.......
介绍了利用现场可编程门阵列(FPGA)来实现外差干涉仪动态数据采集的信号处理方案。在这套方案中,在锁存位置计数信息的同时,还可以......
针对工业领域和计量界对定位精度要求的提高,提出了一种基于迈克尔逊干涉仪反向特性的定位控制方法。该方法采用相位锁定控制和外......
