【摘 要】
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利用半导体激光器 (LD)、光隔离器、光纤定向耦合器、自聚焦透镜等组成双路光纤斐索型干涉仪。采用三角波电流调制 ,上、下边沿拍频信号差动鉴相的方法 ,提高了测量灵敏度和
【机 构】
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清华大学精仪系精密测试技术及仪器国家重点实验室!北京100084,清华大学精仪系精密测试技术及仪器国家重点实验室!北京100084,清华大学精仪系精密测试技术及仪器国家重点实验室!北京100084,清
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利用半导体激光器 (LD)、光隔离器、光纤定向耦合器、自聚焦透镜等组成双路光纤斐索型干涉仪。采用三角波电流调制 ,上、下边沿拍频信号差动鉴相的方法 ,提高了测量灵敏度和位移响应速度 ,增大了测量范围 ;利用辅助干涉仪检测系统的相位漂移 ,并对LD发光波长进行反馈控制 ,提高了系统的稳定性 ,实现了大测量范围、高分辨率、高精度位移测量。
The use of semiconductor lasers (LD), optical isolators, optical fiber directional coupler, self-focusing lens composed of two-way fiber Fizeaux interferometer. Triangular wave current modulation, upper and lower edge beat beat signal differential phase detection method to improve the measurement sensitivity and displacement response speed, increasing the measurement range; the use of auxiliary interferometer detection system phase shift, and the LD emission wavelength Feedback control, improve the stability of the system, to achieve a large measuring range, high resolution, high-precision displacement measurement.
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