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晶圆级倒装装备作为一种用于晶圆级倒装芯片焊接的先进封装设备,需达到高精度、高产能的封装要求,而高性能的运动控制系统是其完成......
随着芯片体积越来越小,焊点间的距离日益缩短,这对芯片封装设备中运动平台的定位精度、鲁棒性等运动性能提出了更高的标准。然而,......
第三代DNA测序仪的基础设备是拥有纳米级通道的纳流体器件。本课题在国家自然科学基金及国家重点基础研究发展计划项目(973计划)支......
提出基于直线超声电机的精密运动平台。该运动平台由U型直线超声电机、交叉导轨工作台及平台控制系统组成。首先利用有限元分......
课题来源于国家重点基础研究发展计划项目(973计划)(2011CB707602)；NSFC-广东联合基金重点项目(U0934004)；国家自然科学基金项目(509......
精密运动平台被广泛应用于IC制造装备、精密测量和精密机械加工等领域。气浮支承刚度非线性、电机驱动推力波动及隔振系统振动衰减......
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目前对于大距离多孔系工件同轴度误差检测而言,主要采用长轴塞规测量法,其检测结果很难保证零件的合格率。然而,大距离孔系同轴度......
精密运动控制技术在超精密机床、精密医疗器械、精密测量仪器中应用广泛。为了提高系统的运动精度,本文主要以滚珠丝杠驱动的精密......
