【摘 要】
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随着液晶显示技术的飞速发展,人们对液晶显示品质的要求越来越高,ITO图形短路检查仪作为检查玻璃上所镀ITO膜电路短路的设备,对LCD生产商产品良品率的提升起到关键作用,设计研发
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随着液晶显示技术的飞速发展,人们对液晶显示品质的要求越来越高,ITO图形短路检查仪作为检查玻璃上所镀ITO膜电路短路的设备,对LCD生产商产品良品率的提升起到关键作用,设计研发出高定位精度和快速启停的精密运动平台有着重要的意义。本课题结合北京清大天达光电科技有限公司ITO图形短路检查仪的设计要求,主要完成了以下研究内容:本文首先从精密运动平台的理论知识出发,根据运动平台的设计要求,确定了符合技术要求的设计方案,对主要部件的零件滚珠丝杠、伺服电机和滚动导轨进行了选型计算,使用Inventor软件设计了符合技术要求的运动平台,平台采用“伺服电机+滚珠丝杠”的驱动方式,为达到高精度的要求,选择了具有高精度的滚珠丝杠、高分辨率的伺服电机以及精密级的滚动导轨。其次研究了导轨的精度和影响因素以及位移分辨率原理,提出了提高位移分辨率的措施。分别对滚动导轨和驱动部分使用ANSYS Workbench仿真软件进行了静力学分析和模态分析的研究,通过对比有无预应力状态下导轨的前六阶模态振型和固有频率,获得了滚动导轨处于不同状态下的各阶固有频率以及相对应的模态振型,得出了导轨具有高的各阶固有频率以及抗振性高的结论;对驱动部分的有限元分析结果表明平台系统具有高的刚度和固有特性。最后在考虑如何保证装配精度的条件下装配出了整机并进行了相关的检测实验。研究了平台试验系统的组成以及整机装配时在保证装配精度的基础上重点考虑了导轨、工作台板等关键部件对平台精度的影响,提出了安装要求。对装配好的ITO图形短路检查仪进行了实验研究,结果表明该平台的设计满足技术要求。
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