溅射沉积相关论文
报道了反应溅射沉积ＴｉＯ２薄膜，得到ＴｉＯ２薄膜的特性如沉积速率、透射率、导电性能、吸收系数等与反应气体的流量、溅射功率有关。通过控制氧气......
本文研究了脉冲激光溅射镀膜技术沉积WO_3基片在室温下,沉积的WO_3膜部分晶化并部分还原.经热处理,在450℃左右膜层开始晶化,最后......
随着半导体技术的飞速发展,半导体工艺已逐渐接近原子尺寸级别,晶圆级封装、微纳结构互连以及3D封装等先进封装技术已成为延续摩尔......
用射频磁控反应溅射方法，在高纯Ｎ２、Ａｒ（纯度均为９９．９９９％）的气氛中，以高纯Ａｌ为靶材，成功地制备了ＡｌＮ薄膜．研究了不同气体组分、不同衬底温度对薄膜结晶性的......
采用对靶磁控反应溅射技术以N2和H2为反应气体在硅(100)和石英衬底上制备了氢化非晶氮化硅(a-SiN:H)薄膜.利用台阶仪、原子力显微......
采用室温溅射沉积和空气热氧化方法低成本地制备出纳米结构热致变色节能薄膜。利用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、激光拉曼光谱仪......
薄膜表面形貌定量研究有助于薄膜生长机理的认识。研究的薄膜是用激光脉冲沉积法(PLD)制备的ZnO∶Ga(GZO)透明导电薄膜。由于GZO薄......
目前,在薄膜太阳能电池中,作为大规模生产的铜铟镓硒(CIGS)薄膜电池,包含一个ZnS缓冲层,该缓冲层对电池效率的提高起着决定性作用,......
本工作采用螺旋波等离子体辅助溅射沉积系统应用非平衡生长技术在Al2O3(001)衬底制备了N-Al共掺的p型ZnO薄膜。分析了退火对ZnO薄......
质子交换膜燃料电池（PEMFC）具有较高的功率密度和能量效率，最有可能成为电动汽车的动力源。燃料电池技术已相当成熟，处于商业化的前夜......
YBCO高温超导薄膜在高性能微波无源器件有着良好的应用前景,而大面积双面薄膜的制备在满足批量生产及多器件集成的同时,能够进一步......
YBa2Cu3O7-δ(YBCO)高温超导薄膜具有优异的电学性能,用其制作的微波器件在液氮温区具有插损小、品质因子高等优点;YBCO 厚膜应用......
本文采用直流磁控溅射技术在硅片和AZ31基体上制备了Mg-Cu-Y三元合金膜，针对其工艺参数进行了研究。研究结果表明：工艺参数的改......
本文研究了溅射的沉积工艺参数对 Pt 电极上沉积的BST组分梯度薄膜微结构与电学性能的影响。实验结果表明：BST组分梯度薄膜晶粒大小......
太阳能是重要的可再生能源之一,近年来,光伏市场得到了快速的发展,但同时也存在许多挑战。其中,高纯度硅原料短缺和太阳电池的高成......
在薄膜溅射沉积中,用具有能量的离子或中性粒子轰击薄膜对薄膜结构有重大影响,这些影响由于沉积条件的不同变化非常大,特别是质点......
利用射频反应性溅射沉积技术在掺Sn的In2 O3导电透明膜(ITO)衬底上制备了钙钛矿型Pb(Zr,Ti)O3(PZT)铁电薄膜 .研究了沉积参量与热......
