轰击能量相关硕士博士期刊学术论文 - 皮皮文库

轰击能量相关论文

高沉积率低动能气流溅射系统

在薄膜溅射沉积中,用具有能量的离子或中性粒子轰击薄膜对薄膜结构有重大影响,这些影响由于沉积条件的不同变化非常大,特别是质点......

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沉积率气流轰击能量离子束沉积质点控制薄膜结构中性粒子溅射沉积加速技术沉积条件沉积技术离子团低能量用具偏置流量

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