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MgO薄膜作为理想的保护层材料已经广泛应用于等离子显示技术中，其具有抗溅射、高的真空二次电子发射系数、可见光区透过率高等特点......
本文以提高微晶硅的沉积速率为目标,在研究了单一沉积参数对微晶硅薄膜沉积速率影响的基础上,主要研究了采用甚高频(75MHz)化学气......
采用脉冲激光沉积(PLD)法在玻璃衬底上,通过调节真空室气压和热处理温度制备铜铟镓硒(CIGS)薄膜吸收层和硫化镉(CdS)薄膜缓冲层。......
研究了微波化学气相沉积中沉积气压对金刚石薄膜生长速率和质量的影响.研究表明,金刚石薄膜的生长速率随沉积气压的提高而增大,生......
