低温沉积相关论文
刚玉结构的α-Al2O3具有高温硬度高,化学稳定性好,电绝缘性高和抗氚渗透性能好等优异的综合性能,在高速钢刀具涂层、微电子领域和......
采用紫外脉冲激光沉积技术和高低温沉积工艺,在LaAlO3(100)平衬底及倾斜衬底上成功制备了c轴取向的(Bi,Pb)2Sr2CaCu2O8[(Bi,Pb)-22......
采用电子回旋共振等离子体增强金属有机物化学汽相沉积技术在石墨衬底上低温沉积制备出高质量GaN薄膜,采用三甲基镓(TMGa)和氮气(N......
本文报道了利用电感耦合等离子体辅助中频直流脉冲磁控溅射在温度300℃以下沉积氢化多晶硅薄膜的制备方法.利用拉曼散射、X射线衍......
采用直流射频耦合磁控溅射技术,以氧化锌掺铝(AZO,2%Al_2O_3,质量分数)陶瓷靶为靶材,在玻璃基片上低温沉积AZO薄膜,并采用质量分数......
下颌骨不仅与人体美观密切相关，它还与上颌骨共同承担着咀嚼的功能，此外它对保持呼吸道畅通也起到重要作用，因此，下颌骨缺损的治疗一直......
单片式非制冷红外焦平面阵列（UFPA）技术的发展需求对开发新型性能优良的铁电薄膜及其低温制备技术提出了迫切要求，由于（BaSr）TiO3（简称BS......
有机薄膜场效应晶体管(OTFT，Organic Thin-film Transistor)是一种新型的电子器件，是利用电场来控制固体材料导电性能的有源器件。OT......
氮化镓(GaN)是Ⅲ-Ⅴ族宽带隙半导体材料，晶体结构为六方纤锌矿结构，在室温下的禁带宽度为3.39 eV，在光电子和微电子领域的应用前景广......
全硅叠层太阳能电池是第三代太阳能电池概念中的一种,因与硅工艺兼容而受到普遍关注。其中核心的部分即是带隙可调的硅基介质硅纳......
本工作采用蒙特卡罗(Monte-Carlo)计算机模拟的方法，对以CH_4／H_2为源气体的电子助进化学气相沉积(EACVD)金刚石薄膜中的气相分解过......
多晶硅薄膜以其优异的光电性能和较低的制备成本，在能源信息工业中，日益成为一种重要的电子材料，并被广泛应用于大规模集成电路和半导......
研究输入 C2 H2 +C3H8+Ar+N2 混合气的低温沉积 Ti C涂层真空阴极电弧离子镀技术 ,研究结果表明 :Ti C涂层层深 0 .0 0 5～ 0 .0 0 2......
选取不含 H2 的 Si Cl4 / O2 混合气体作为反应源气体 ,并利用普通的 PECVD技术来实现低温沉积 Si基微米厚度的 Si O2 薄膜 ,测试......
本文对离子束辅助磁控溅射低温沉积的ITO薄膜进行了研究,重点考察了辅助离子束能量对ITO薄膜的光电性能和晶体结构的影响。结果表......
本文中，我们采用空心阴极等离子体增强化学气相沉积（MHC-PECVD）在玻璃、表面溅射氧化铟锡（ITO）的玻璃（玻璃+ITO）以及表面溅射ITO的聚酰亚......
