【摘 要】
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本书系统地介绍超大规模集成电路技术的理论及应用.内容包括从单晶生长至实现金属化互连的全部VLSI电路芯片制作工艺的机理和实际应用中的一些具体问题;芯片的组装、封装技
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本书系统地介绍超大规模集成电路技术的理论及应用.内容包括从单晶生长至实现金属化互连的全部VLSI电路芯片制作工艺的机理和实际应用中的一些具体问题;芯片的组装、封装技术及成品率和可靠性测试;主要芯片工艺的工艺模拟及工艺诊断技术.本
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