【摘 要】
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椭圆偏振测量作为一种非接触、非破坏性的测量技术,已经在半导体和生物材料等科学领域得到了长久的发展[1].本文提出了一种新的紧凑型椭偏仪设计及其光学模型,并且对关键光学
【机 构】
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华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室,武汉,430074
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椭圆偏振测量作为一种非接触、非破坏性的测量技术,已经在半导体和生物材料等科学领域得到了长久的发展[1].本文提出了一种新的紧凑型椭偏仪设计及其光学模型,并且对关键光学元件特性参数进行了仿真分析.基于以上仿真分析,该椭偏仪的综合性能得到证实.与传统广义光谱椭偏仪通过旋转偏振器或者补偿器来测量探测光的偏振态变化相比,紧凑型光谱椭偏仪采用静态偏振调制模块和多通道同时测量模式,这使得椭偏仪的整体光路变得更紧凑[2].紧凑型光谱椭偏仪对样品进行双通道同时测量,在保证测得足够分析数据的同时,缩短了测量时间.这使得将紧凑型光谱椭偏仪用于在线测量成为可能.
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