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我们研究了多层膜基底上驻波形光刻胶光栅的散射度量方法.该种光栅结构的微纳形貌无损测量在脉冲压缩光栅制作工艺中起关键作用,而目前针对该种结构的散射度量方法在文献中尚未见报道.我们的研究具体包括以下几个方面:1.利用光谱椭偏法对多层膜膜系结构进行测量.多层膜结构由金基底加五层介质膜构成.
多层膜基底驻波形光刻胶光栅的散射度量形貌检测
【摘 要】
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我们研究了多层膜基底上驻波形光刻胶光栅的散射度量方法.该种光栅结构的微纳形貌无损测量在脉冲压缩光栅制作工艺中起关键作用,而目前针对该种结构的散射度量方法在文献中尚
【机 构】
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清华大学精密仪器系,精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京,100084
【出 处】
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第一届全国椭圆偏振光谱学研讨会
【发表日期】
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2014年11期
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