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详细研究了衬底温度对超声喷雾热分解工艺制备的大面积绒面SnO2：F薄膜的影响和薄膜微结构与薄膜电学、光学性能之间的关系，试验曲线和SEM图的研究结果表明将衬底温度从370℃提高到470℃以上薄膜结晶程度大大提高，晶粒尺寸明显增大;温度在470℃左右绒度达到13％。文章同时对超声喷雾热分解工艺制备大面积绒面SnO2：F薄膜做了工艺探索，并将实验制得的薄膜用于制备非晶硅薄膜电池，其效率达到了6.46％。