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CdTe/CdS异质结太阳能电池是最具有应用前景的低成本太阳能电池之一。本研究采用化学水浴法和近空间升华法制备了高质量的CdS和CdTe薄膜。利用X射线衍射和扫描电子显微镜研究各层薄膜以及CdTe/CdS界面的形成。在高质量薄膜的基础上改进CdCl2热处理过程,制备了具有以下结构的异质结太阳能电池:玻璃衬底/FTO/CdS/CdTe/Cu:Au/Ag。改进电池后处理工艺,系统地研究了溴甲醇溶液蚀刻处理过程和背接触层中铜含量的影响,获得了合适的Cu/Te缓冲层。研究了电池的伏安特性和量子效率。得到了在标准AMl.5条件下转换效率为13.2%的CdTe/CdS高效薄膜太阳能电池。