Sol-gel法制备Li<,2>B<,4>O<,7>薄膜

• 作 者: 张希艳 刘景和
• 机 构: 光学精密机械学院材料工程系
• 出 处: 全国第二届溶胶-凝胶科学技术学术会议
• 发表日期: 1997年期
• 关键词: 法制 烧结温度 晶相 浸渍工艺 处理制度 薄膜形成 中水 溶液 溶胶 凝胶 衬底

该文采用溶胶－凝胶浸渍工艺在Ｓｉ（１００）衬底上制备了Ｌｉ〈，２〉Ｂ〈，４〉Ｏ〈，７〉薄膜。研究了水的用量，和热处理制度对Ｌｉ〈，２〉Ｂ〈，４〉Ｏ〈，７〉薄膜形成的影响。结果表明，先驱溶液中水的用量应充足，以保证Ｌｉ〈，２〉Ｂ〈，４〉Ｏ〈，７〉晶相的形成。烧结温度的提高有利于Ｌｉ〈，２〉Ｂ〈，４〉Ｏ〈，７〉晶相的形成。