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该文报导在n型Si衬底上制作的一种结构为Pt/Ag<,2>O-SnO<,2>/SiO<,2>/Si/Al的MIS二极管，其敏感栅为Ag<,2>O-SnO<,2>复合薄膜。
Ag<,2>O-SnO<,2> MIS结构的制备及气敏特性研究
【摘 要】
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该文报导在n型Si衬底上制作的一种结构为Pt/AgO-SnO/SiO/Si/Al的MIS二极管，其敏感栅为AgO-SnO复合薄膜。
【机 构】
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中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室(北京)
【出 处】
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第六届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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1999年期
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