太赫兹频段占有宇宙微波背景(CMB)辐射以后宇宙空间近一半的光子能量,对研究宇宙和星系的形成和演化等具有非常重要的意义,已成为......

本文对离子源的溅射特性进行了研究，采用离子束溅射法制备了TiN_y单层薄膜和CN_x／TiN_y多层薄膜，探索该法制备CN_x薄膜的最佳工艺参数......

纳米Co/Al2O3/Co多层膜是一种超高密度存储材料,体积小,具有隧道磁电阻效应。利用其效应可能发展出一种存储器,将引起计算机内存芯......

本论文系统地研究了镍铬硅-镍硅热偶传感薄膜的设计与制各工艺。采用离子束溅射方法镀制了以K9玻璃为基底的镍铬硅-镍硅薄膜热电偶......

本文采用离子束溅射法在氧化钇稳定的氧化锆(YSZ)单晶衬底、铝酸镧(LaAlO_3)单晶衬底和SiO_2衬底上溅射了Ln_(0.5)Sr_(0.5)CoO_(3-......