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本论文研究硅基超导氮化钛铌(NbTiN)薄膜的制备技术。针对NbTiN与硅基片晶格失配度较高导致超导性能的下降的难题,主要开展两方面......
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太赫兹频段占有宇宙微波背景(CMB)辐射以后宇宙空间近一半的光子能量,对研究宇宙和星系的形成和演化等具有非常重要的意义,已成为......
该文利用反应磁控溅射技术,在不同的工艺条件(沉积温度、反应气体分压和基片性质等)下制备了本征硬质薄膜BC、CrNx,、NbN和纳米复......
