陶瓷硬质薄膜的微结构与力学性能研究

• 作 者: 韩增虎
• 机 构: 上海交通大学
• 出 处: 上海交通大学
• 发表日期: 2002年期
• 关键词: 磁控溅射 B-C-N-Si四元区薄膜 CrNx薄膜 NbN薄膜 Nb-Si-N薄膜 微结构 力学性能

该文利用反应磁控溅射技术,在不同的工艺条件(沉积温度、反应气体分压和基片性质等)下制备了本征硬质薄膜B<,4>C、CrNx,、NbN和纳米复合薄膜Nb-Si-N等几种陶瓷薄膜,采用EDX,XRD,TEM,FTIR,HREM,AFM等技术研究了薄膜的成分、相结构、微观结构和生长形貌等,并利用显微力学探针测量了薄膜的硬度和弹性模量等力学性质.