微谐振器相关论文
随着物联网在半导体中的日益普及,MEMS器件的市场份额与日俱增。但是,其同时存在诸多问题需要解决。在加工过程中,由于尺寸微小和......
微谐振器在微机电机械系统（Micro-Electro-Mechanical System,MEMS）中是相当重要的组成部分,担任着传感器的角色,主要功能就是进行机......
微谐振器是MEMS器件类型之一,常用于生物医学、航空宇航、通讯信息等领域。品质因数（Quality factor）是评价微谐振器性能的关键参数,......
在利用耦合模理论(CMT)研究了谐振器与波导之间耦合工作特性的基础上,在二维正方格子光子晶体中设计了两种对称的带有5×5微谐振器......
微谐振器是微机电系统(MEMS)中一种典型的非线性动力学器件,它具有功耗小、灵敏度高、动态响应快、驱动效率高等优点,受到国内外学......
随着MEMS谐振器应用的日益广泛，业界对于该器件的设计制造也提出了更高的要求。由于谐振器的尺寸较小，在工作时会受到比较大的气体阻......
横向振动硅微谐振器被广泛应用在MEMS器件中，例如微传感器、微陀螺仪、微滤波器等。微谐振器的动力学特性与其性能的提高密切相关。......
微谐振器件是微机电（MEMS）领域应用最广泛的器件之一，也是研究最多的器件。结构从最初的微梁发展到最近的微盘和微体，谐振频率不断被提......
近年来，集成慢光器件的研究在国内外引起广泛兴趣。表面等离子体器件能实现亚波长局域化，可极大地提高光子系统的集成度，成为了慢光技......
自2004年诞生以来,石墨烯以其优异的性质激发了人们的强烈的兴趣。石墨烯是用来制作纳米器件的理想材料,近些年关于石墨烯在纳米器......
在过去的几年中,超材料已经从可调控独特电磁特性的范例迅速发展到制造功能器件的基础材料。超材料电磁器件的重要应用之一是超材......
为了高精度、高速测量微谐振器谐振频率的变化,利用锁相环精确选频跟踪的特性,研制了以MAX038集成芯片为核心的闭环自激与检测电路......
以一类典型的静电驱动双边电容型微谐振器为研究对象,基于全局分岔理论,研究微结构吸合不稳定的机理;在此基础上,在系统直流偏置电......
