纳机电系统相关论文
目前,水污染已经成为亟待解决的全球性问题,尤其是水中重金属离子造成的污染已对人体健康及全球环境构成严重的威胁,因此对水环境......
随着微电子加工技术以及纳米加工技术的进步,人们已经能够很容易制造出纳米梁和纳米线。纳米梁是纳机电系统用于痕量检测、超快传......
纳机电系统(NEMS)从微机电系统(MEMS)发展而来,NEMS器件相比MEMS器件具有更高的谐振频率和Q值,更高的灵敏度,更高的集成度,更低的......
近年来，因纳米技术的快速发展以及其在众多领域的广阔应用前景，使纳米级材料和结构的研究受到了众多研究者的持续关注。精密和超精密......
目前,对微机电系统制造技术的研究已较为完善,而对纳机电系统加工机理的研究仍存在大量空白。纳米尺度下的尺寸效应、表面效应使纳......
本课题就是研究吸附效应对纳机电系统(Nano—electromechanical system NEMS)中常用的纳米梁特性的影响。 全文分为三个主要方......
随着分子束外延(MBE)技术和纳机电系统加工技术的快速发展,各种新型的超晶格量子阱器件被加工出来。因尺度变小而产生的各种效应(......
随着微电子加工工艺和纳米技术的进步,NEMS得到了快速的发展,人们已经能够比较容易地制造出纳米量级的简单NEMS结构和器件。作为NE......
NEMS（Nano Electro Mechanical System）纳机电系统，是基于MEMS技术而提出的一个新概念，其特征尺寸在几纳米到几百纳米，以机电结合为主要......
纳机电系统是一项被认为面向21世纪可以得到广泛应用的高新技术产业，在国防军工、航空航天、医疗工程等领域具有潜在应用，倍受各国政......
微机械系统(Micro Electro Mechanical Systems,MEMS)现已成为微电子技术的主要发展方向，各国都已投入资金展开研究，并在相关领域获......
