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微量和超微量作为现代科学技术一个重要的前沿问题,是人类探索认识微观世界的重要手段。本课题提出了一种通过将超微质量转换为超......
近年来宏/微执行器(dual-stage actuators system-DSA)作为一种受到广泛关注的高精度装置,其具有定位精度高、行程范围广、鲁棒性......
当前,由外部环境（例如:光,磁场,超声或电场等）驱动的无燃料式微型执行器的研究发展十分迅猛,尤其是磁驱动型微纳执行器,它们结构和种......
微型机电系统是一个新兴的技术领域,是一个跨世纪的新学科.本文简要介绍了MEMS的历史、对各行各业发挥的重要作用以及研究的主要成......
本文采用溶胶凝胶法制备PZT薄膜,研究薄膜的改性工艺及其在微执行器中的应用,表征改性后薄膜的晶向、微观结构、介电、铁电、抗疲......
表面弹性波马达是一种以电声换能器产生表面弹性波，并通过马达动子和定子的接触摩擦将表面弹性波振动转换为马达动力的新型执行器。......
微机械数模转换器是一种用数字信号精确控制微执行器输出量的新方法,本文介绍了微机械数模转换器的概念,分析了“C-2C梯型网络”、......
在中国古代的道家典籍《庄子》里,有一则颇值得玩味的故事:蜗牛的两根触角上,各有一个小国家.它们常年征战不休,仿佛两根蜗牛触角......
基于压电双晶片本构方程,采用机电耦合系数的一种新的、更为合理的定义方法,分析了动态情况下悬臂梁式双晶片执行器或换能器的机电......
提出了一种新颖的基于权值的微机械数模转换器 ,它的原理与电路中的权电阻数模转换器类似。通过改变纵向梁的长度获得不同的刚性值......
