硅微加工相关论文
研究了Metropolis Monte Carlo方法在硅微加工各向异性湿法腐蚀仿真中的应用。针对硅微湿法加工所涉及的关键技术和实现方法进行了......
MEMS技术的发展为基于压电薄膜和硅微加工技术的微传感器和微执行器的研究带来了巨大的机遇。压电式微力传感器具有低能耗、高灵敏......
随着硅材料微制造技术的迅速发展,早在20实际70年代末期斯坦福大学就开发出硅微加工的气象色谱仪,随后人们又提出了制造微传感器、......
