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本文以高架地板数据中心为研究对象,研究风能在数据中心中潜在的应用可能性,从而提出一个提高其空气冷却效应的有意义的节能方法。......
作为MEMS技术的一个重要应用领域,MEMS陀螺以其低成本、体积小、可靠性高、功耗低等优点,已广泛应用于汽车、电子以及航空航天等各......
陀螺仪是运动测量、惯性导航、制导控制等领域的核心器件。微半球谐振陀螺是最具发展潜力的陀螺之一,具有动态范围大、精度高、抗......
横向振动硅微谐振器被广泛应用在MEMS器件中，例如微传感器、微陀螺仪、微滤波器等。微谐振器的动力学特性与其性能的提高密切相关。......
微机电系统(MEMS)是21世纪科学技术的重要发展方向之，微机电系统的研究，一方面是现代科技发腱的需求.另一方面也反映了人类对物质世......
随着人类社会和科学技术的不断进步,人们对于机械系统的要求也越来越高,般的机械系统已经无法满足人类的需求。这就要求机械系统向......
微电子机械系统(MEMS)是一个发展十分迅速、应用日渐广泛的领域,而MEMS传感器是应用最为广泛的MEMS器件,其中的MEMS谐振式传感器具......
为明确梳齿电容式与“三明治”电容式微加速度计的噪声极限与相关的三类结构形式对应的微机械加工工艺影响,着重分析了三种工艺实......
