微机械系统相关论文
在现代电子线路中,磁性元器件如电感以及由它组成的DC-DC变换器、滤波器和振荡器等是不可缺少的元器件。由于便携式电子产品的体积......
与光刻或电子束刻蚀相比，双光子光聚合作用建立在其三维能力的基础上，特征尺寸接近衍射极限，在光子器件和微机械方面有用。本文指出，利......
设计了一种Si基金刚石薄膜上的SAW RF MEMS滤波器,其中心频率为400MHz,叉指换能器(IDT)线宽为5μm。采用中物超硬材料公司定制的硅......
模内微组装成型技术是有望成为规模化高效低成本产业化聚合物微小机械系统制造的有力技术。高分子聚合物材料因质量轻、耐腐蚀、绝......
航天、汽车、电子和家电等产品均具有集成微机械系统来实现传感器、执行器、信号处理和微能源等功能。微机械系统集成包含多种梁板......
随着微／纳米技术的发展，微机械(MEMS)逐渐受到高度重视。微机械由于具有能在狭小空间内进行作业而又不扰乱工作环境和对象的特点，在航......
微机械技术是生物芯片微制作中的关键技术.近年来,微机械技术有了很大发展,应用领域也逐渐扩大,但是它的设计仍处于手工阶段,没有......
微机械系统（MEMS）以其微型化、集成化等优点，在汽车工业、生物医学、信息、军事和航天工程等领域具有极为广泛的应用和广阔的前景。然......
该论文主要研究的是微机械器件的计算机辅助设计方法.该论文在详细研究微机械技术自身特点的基础上,提出了一个完整的微机械CAD软......
微机械加速度计由微机械加速度传感器与外围检测电路两部分组成。微机械加速度传感器是微机械加速度计最核心的部分,对加速度计的......
高Q值MEMS电容式加速度计因具有很小的机械噪声,满足于高精度测量的需要,但欠阻尼的传感器系统动态性能较差,因此需要在闭环检测电......
调制器是光纤系统的重要器件。硅基微机械光调制技术使用常规硅平面工艺方法 ,制作较为简单 ,成本较低。同时 ,又具有高数据速率 (......
介绍了一种微机械叉指静电驱动折叠悬臂梁谐振器的设计和制作方法.将Rayleigh分析法和有限元分析法结合起来分析调整器件尺寸和材......
基于应变梯度弹性理论,研究了静电激励MEMS微结构吸合电压的尺寸效应.利用最小势能原理分别推导出含尺寸效应的一维梁模型和二维板......
