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微机械惯性仪表(包括微机械加速度计,Micro-Mechanical Accelerometer和微机械陀螺仪,Micro-Mechanical gyroscope)是以IC工艺和微......
微加速度计是一类重要而且应用广泛的微机电器件,其性能的好坏除敏感芯片的设计与加工以外,很大程度上取决于接口控制电路的设计。同......
微机械加速度计作为一种重要的惯性器件,在汽车、消费电子、惯性制导等方面有广泛的应用前景。性能指标的提高一直是微机械加速度计......
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