SU-8胶相关论文
SU-8胶是一种能够以低成本制作高深宽比微结构的负性光刻胶,在非硅MEMS领域有广泛的应用。其中光刻成型的SU-8胶直接作为微结构材......
利用聚合物SU-8光刻胶在激光作用下折射率会发生变化的特点,将其作为最后的光学材料,采用光刻胶热熔法和图形转移法,设计并制作了......
当以SU-8光刻胶作为模具制备大深宽比结构或者直接用SU-8作为结构材料时,都难以避免地受到粗糙侧壁的影响.而随着器件性能的提高,......
采用SU-8胶的UV光刻技术是制造MEMS的重要微细加工技术之一。SU-8胶克服了普通光刻胶深宽比不足的问题,同时也克服了LIGA技术中X射......
SU-8胶是一种能够以低成本制作高深宽比微结构的负性光刻胶,在非硅微电子机械系统(MEMS)领域具有广阔的应用前景.针对SU-8胶作为微......
随着MEMS(微电子机械系统)技术的迅速发展,基于SU-8胶的UV-HGA技术得到了广泛的应用。SU-8厚光刻胶已经成功地应用于高深宽比微结......
随着对微纳米领域科学研究的不断深入，获取微纳米尺度下物体的力学信息已经成为了研究的热点问题。微力传感器作为MEMS领域中一种重......
生化微系统是MEMS的重要方向之一，而生化样品的微量取样和计量是生化分析过程的重要环节，微针执行器的研究因此受到关注。本文总结了......
对基于SU-8胶的UV-LIGA技术进行了工艺优化,研究了光源波长和曝光时间对SU-8胶成型的影响.结果表明,光刻胶表面线宽变化随曝光时间......
