【摘 要】
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当以SU-8光刻胶作为模具制备大深宽比结构或者直接用SU-8作为结构材料时,都难以避免地受到粗糙侧壁的影响.而随着器件性能的提高,这一问题越来越影响到SU-8的应用.通过使用硬
【机 构】
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上海交通大学电子信息与电气工程学院先进电子材料与器件平台,上海200240
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当以SU-8光刻胶作为模具制备大深宽比结构或者直接用SU-8作为结构材料时,都难以避免地受到粗糙侧壁的影响.而随着器件性能的提高,这一问题越来越影响到SU-8的应用.通过使用硬烘的方法来改善SU-8胶的侧壁粗糙度.通过调整硬烘温度和时间,成功地将SU-8胶侧壁的均方根粗糙度从185.9 nm降低到了7.6 nm.通过光学金相显微镜观察SU-8侧壁的形貌,证实了随着硬烘温度和时间的增加,侧壁波纹逐渐消除.原子力显微镜(AFM)表征进一步验证了粗糙度的下降.最后以微波、毫米波、太赫兹波等高频信号在铜波导中传播的情形为例,讨论了粗糙度对传输阻抗的影响,证明了粗糙度降低的意义.
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