UV-LIGA技术相关论文
随着MEMS技术的发展,人们对微型制件的需求越来越高。采用微注射成型技术获得的微型塑件,成型精度高,稳定性好,成本低,易成型,以及......
由于金具有特殊的物理、化学性能（如优良的可塑性、焊接性、耐腐性、耐热性和导电性等），因此，被广泛应用于电子元器件、集成电路、PCB......
随着MEMS技术的飞速发展,金属微器件作为微传感／执行器的核心部件在医疗、生物、航空航天等领域的需求日益增多。同时,基于UV-LIGA......
UV -LIGA深度光刻技术是加工微型机电系统的一项重要的微细加工技术。介绍了一种平滑衍射效应的位错强度叠加原理 ,它采用了蝇眼积......
根据连续体结构拓扑优化技术,采用基于SIMP插值模型的变密度法,以最大输出位移为目标设计了一种新型柔性微夹钳的结构,这种钳体结......
对基于SU-8胶的UV-LIGA技术进行了工艺优化,研究了光源波长和曝光时间对SU-8胶成型的影响.结果表明,光刻胶表面线宽变化随曝光时间......
详细阐述了一种微型电磁继电器的设计和初步研制过程.该微继电器主要由电极、悬臂梁结构和电磁线圈组成.设计过程中考虑了微继电器......
