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Pt／PZT／Pt结构铁电场效应晶体管性能研究

来源 :河北北方学院学报：自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xulee_jj
【摘 要】
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目的研究金属／铁电／金属／多晶硅／绝缘层／Si衬底（MFMIS）结构的p沟道铁电场效应晶体管的性能．方法制备金属／铁电／金属／多晶硅／绝缘层／Si衬底（MFMIS）结构的p沟道铁电场效应晶体管并对其性能进行
【作 者】
：
杨富 蔡道林 南景宇 韩冰 
【机 构】
：
河北北方学院理学院,中国科学院上海微系统与信息技术研究所
【出 处】
：
河北北方学院学报：自然科学版
【发表日期】
：
2009年1期
【关键词】
：
MFMIS 铁电场效应晶体管 存储窗口 MFMIS   FFET  memory window 
【基金项目】
：
河北省教育厅自然基金项目（2004402）,张家口市科技局项目（060178）
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目的研究金属／铁电／金属／多晶硅／绝缘层／Si衬底（MFMIS）结构的p沟道铁电场效应晶体管的性能．方法制备金属／铁电／金属／多晶硅／绝缘层／Si衬底（MFMIS）结构的p沟道铁电场效应晶体管并对其性能进行测量分析．结果具有顺时针的Id—U滞回曲线的P沟道PZT铁电场效应晶体管能实现极化存储性能，并且在-5V到＋5V的Vg电压下从Ia—Vg滞回曲线中都得到了1V的存储窗口．存储窗口随一V。的增大而增大．结论MFMIS结构的P沟道PZT铁电场效应晶体管适合在大规模、高密度、高速度铁电存储器上使用．
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