【摘 要】
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一、引言在同一抽速下,钛球升华泵的体积、重量、成本是扩散泵、溅射离子泵的几十分之一。它可以用作外真空的主泵;加机械泵作内真空的前级和排电子管时作附助泵。如图1所示
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一、引言在同一抽速下,钛球升华泵的体积、重量、成本是扩散泵、溅射离子泵的几十分之一。它可以用作外真空的主泵;加机械泵作内真空的前级和排电子管时作附助泵。如图1所示。
I. Introduction At the same pumping speed, titanium ball sublimation pump volume, weight, cost is a diffusion pump, sputter ion pump a few one-tenth. It can be used as the main vacuum pump; plus mechanical pump for vacuum within the former stage and row when the auxiliary pump attached to the pump. As shown in Figure 1.
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