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<正> 一、前言特种气体阀门的特点是与气体本身特性密切相关的,这主要表现在: 1.纯度要求高。目前国内单元气体一般要求4N到5N。有的要求6N。国外有的高达7N。2.洁净度要求高。以集成电路用气为例集成度为64K时(国内已研制成功),尘埃最
国内外特种气体用阀概况
【摘 要】
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<正> 一、前言特种气体阀门的特点是与气体本身特性密切相关的,这主要表现在: 1.纯度要求高。目前国内单元气体一般要求4N到5N。有的要求6N。国外有的高达7N。2.洁净度要求高
【机 构】
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化学工业部光明化工研究所,化学工业部光明化工研究所,化学工业部光明化工研究所
【出 处】
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流体工程
【发表日期】
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1991年08期
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