用溶胶—凝胶法制备SiO2薄膜

来源 :无机材料学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：shenglove5

【摘要】

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利用溶胶-凝胶法研制了 SiO_2 薄膜.研究了溶液中组成,即 H_2O/Si(OC_2H_5)_4摩尔比对薄膜形成的影响.在溶液中添加了干燥控制化学剂,研究了添加剂对成膜性的影响.结果表明,

【作者】

：

张志波王立久角田范义上野晃史

【机构】

：

大连理工大学土木系,日本国丰桥技术科学大学,日本国丰桥技术科学大学116024,116024

【出处】

：

无机材料学报

【发表日期】

：

1993年1期

【关键词】

：

溶胶-凝胶法薄膜二氧化硅 Tetraethylorthosilicate SiO_2 film Sol-gel process

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利用溶胶-凝胶法研制了 SiO_2 薄膜.研究了溶液中组成,即 H_2O/Si(OC_2H_5)_4摩尔比对薄膜形成的影响.在溶液中添加了干燥控制化学剂,研究了添加剂对成膜性的影响.结果表明,利用H_2O/Si(OC_2H_5)_4的摩尔比>15,并且添加适量的添加剂的溶液,能够制得结构均匀而不开裂的 SiO_2薄膜.用扫描电镜观察了薄膜的微观结构,并测定了薄膜的厚度.

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