【摘 要】
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当今的微机电系统(MEMS)所使用的量产制造技术仰赖昂贵的半导体微影设备。因此,晶片的生产通常需要存在一个相当大的市场,才足以涵盖某种特定元件的生产成本要求,以及实现商
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当今的微机电系统(MEMS)所使用的量产制造技术仰赖昂贵的半导体微影设备。因此,晶片的生产通常需要存在一个相当大的市场,才足以涵盖某种特定元件的生产成本要求,以及实现商品化的可能性。美国麻省理工学院(MII、)微系统技术研究室(Microsystems Technologies Laboratories)的研究人员日前展示几种能以低成本打造MEMS的新方法,不仅可让所生产的元件实现简单的客制化,同时还利用一种桌上型的8D列印晶圆
The mass manufacturing technologies used in today’s microelectromechanical systems (MEMS) rely on expensive semiconductor lithography equipment. As a result, the production of wafers typically requires a significant market size to cover the cost of manufacturing a particular component and the potential for commercialization. Researchers at Microsystems Technologies Laboratories at the Massachusetts Institute of Technology (MII) have recently demonstrated several new ways to build MEMS at low cost, allowing for simple customization of the components they produce, Also using a desktop 8D printed wafers
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