【摘 要】
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本文从碱金属对SEM管及象增强器等器件的管内元件的污染入手,介绍了碱金属对SEM管硅靶的污染现象,在分析碱金属对硅靶污染机理的基础上,提出了避免污染的方法,并给出了采用此
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本文从碱金属对SEM管及象增强器等器件的管内元件的污染入手,介绍了碱金属对SEM管硅靶的污染现象,在分析碱金属对硅靶污染机理的基础上,提出了避免污染的方法,并给出了采用此种方法后的试验效果。
In this paper, alkali pollution of SEM tube and elephant enhancer, etc. Is introduced in this paper. The pollution of alkali metal on silicon target of SEM tube is introduced. On the basis of analyzing the pollution mechanism of alkali target on silicon target, Method, and gives the test results after using this method.
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