【摘 要】
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一、引言离子镀技术是近些年来发展很快的表面加工新技术、新工艺.而离子镀TiN膜(称I~P-TiN)由于它的硬度高、摩擦系数低、化学稳定性好,而作为各种耐磨、耐蚀、超硬薄
I.
【机 构】
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中国科学院金属腐蚀与防护研究所,中国科学院腐蚀科学开放研究实验室
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一、引言离子镀技术是近些年来发展很快的表面加工新技术、新工艺.而离子镀TiN膜(称I~P-TiN)由于它的硬度高、摩擦系数低、化学稳定性好,而作为各种耐磨、耐蚀、超硬薄
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