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声表面波(SAW)器件被广泛应用于数字信号处理、无线通信等领域。压电材料作为声表面波器件的基底材料,其材料参数(弹性常数cE、压电常数e、介电常数εs、密度ρ)对于分析声波的传播和设计声表面波器件都具有重要的意义。另外在声表面波器件的设计中,声表面波速度是最基本的设计依据之一;并且通过声表面波速度还可以反演出材料常数。因此,我们首先对声表面波速度的测量进行了大量细致的工作;之后对参数反演进行了初步的探讨。
为了消除换能器对测量结果的影响,我们采用了双延迟线的方法来进行测量。并且在测量的过程中,对测量数据进行FFT数字滤波,旨在消除测量过程中的随机误差。经过误差分析之后,计算所得的速度值是合理的,有效的。在较低制作工艺的器件上,得到了比较高的精确度,说明此方法确实可以提升声表面波速度测量的精度。接下来的工作就是利用求得的表面波速度进行材料常数的反演。文中给出了一种反演算法-遗传算法的理论模型。