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本文采用直流磁控溅射方法制备了Pt0.55Mn0.45和Pt0.55Mn0.45—Cr两种外延薄膜样品，衬底为Si（001）。运用透射电子显微术、高分辨电子显微术及x射线衍射分析等方法，分别制备了平面电镜样品和截面电镜样品。对两种样品的制备态和退火态进行了系统的观察与分析。得到如下结果：平面样品的观察显示出在Pt0.55Mn0.45薄膜中颗粒的大小不均匀，颗粒尺度在（20-80）nm范围；掺夹Cr薄层以后，Pt0.55Mn0.45—Cr薄膜中颗粒的大小差别较小，颗粒尺度范围在（2